了解直線電機(jī)在防偽技術(shù)的應(yīng)用
隨著社會(huì)的發(fā)展,有越來(lái)越多的假冒偽劣產(chǎn)品。精密光刻系統(tǒng)主要用于假冒偽劣產(chǎn)品的防偽加工。這對(duì)光刻技術(shù)的定位精度提出了極高的要求,直線電機(jī)的應(yīng)用在那些方面呢?
傳統(tǒng)的電機(jī)加一套變換結(jié)構(gòu)和線性運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置的組成已經(jīng)不能滿足現(xiàn)代控制系統(tǒng)的要求。另一方面,由于直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的位移結(jié)構(gòu)具有普通驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)無(wú)法比擬的快速響應(yīng)能力和精度的優(yōu)點(diǎn),直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的精密光刻系統(tǒng)得到了廣泛的應(yīng)用。
直線電機(jī)相對(duì)于傳統(tǒng)電機(jī)有以下優(yōu)點(diǎn):首先,由于直線電機(jī)不需要改變附加設(shè)備的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),因此系統(tǒng)結(jié)構(gòu)大大簡(jiǎn)化,重量和體積大大減少;其次,定位精度高,在需要線性運(yùn)動(dòng)時(shí),直線電機(jī)可以完成直接傳播,因此可以消除由于定位中間環(huán)節(jié)引起的各種誤差,定位精度高,如采用微機(jī)控制,可進(jìn)一步提高整個(gè)系統(tǒng)的定位精度;第三,反應(yīng)速度快,靈敏度高,隨動(dòng)性能好。直線電機(jī)易受磁懸浮支撐,使動(dòng)子與定子之間始終存在一定的氣隙,消除了動(dòng)子與定子之間的接觸摩擦阻力,進(jìn)一步提高了系統(tǒng)的靈敏度、快速性和隨動(dòng)性。四、運(yùn)行安全可靠,使用期限長(zhǎng)。直線電機(jī)可完成無(wú)接觸傳動(dòng)力,機(jī)械摩擦損耗幾乎為零,因而故障少,免維護(hù),因而運(yùn)行安全可靠,使用期限長(zhǎng)。
直線電機(jī)使用的光柵尺分辨率可達(dá)0.1m,不僅提高了光刻速度,同時(shí)進(jìn)一步提高了光刻精度。直線電機(jī)由于其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、反應(yīng)速度快、靈敏度高、跟蹤好、密封好、不怕污染、適應(yīng)性強(qiáng)、運(yùn)行穩(wěn)定可靠、使用期限長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)被廣泛應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)中。
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